| 제목 | 입자복합특성측정장치 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 분야 | 기계/금속 | 년도 | 2014 | ||
| 업체명 | 한국표준과학연구원 | 권리번호 | 10-1360891 | 등록일 | 2014-11-25 |
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- 본 수상품의 경우 반도체 및 디스플레이 공정에서 발생하는 오염입자를 실시간으로 복합특성을 분석하기 위한 진공장비에서 발생하는 입자를 샘플링을 통해 측정하게 됨.
- 본 수상품의 경우 입자를 집속하는 모듈, 입자 하전시키는 모듈, 입자를 분리하는 모듈, 하전입자 전류 측정하는 모듈, 형상을 분석하는 모듈, 성분을 측정하는 모듈로 구성되어 있음 |
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