| 제목 | 다파장을 이용한 위상 천이 간섭계 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 분야 | 전기/전자 | 년도 | 2015 | ||
| 업체명 | 한국표준과학연구원 | 권리번호 | 10-1294145 | 등록일 | 2016-01-06 |
한국표준과학연구원
•권리자 한국표준과학연구원 / (주)마이크로오션텍
•법인명 한국표준과학연구원
•주 소 대전 유성구 도룡동 1번지 (가정로 267)
•연락처 기술이전센터 안웅환, 010-4455-5327
•발명의 명칭 다파장을 이용한 위상 천이 간섭계
•권 리 번 호 10-1294145 •제 품 명 칭 •판 매 가 격 •이 메 일 uhahn@kriss.re.kr 회사에 대해 간략히 소개해주신다면?
- 한국표준과학연구원은 국가표준기본법에 의한 국가측정 대표기관으로서 국가표준제도의 확립 및 이와 관련된 연
구·개발을 수행하고 그 성과를 보급함으로써 국가 경제발 전과 과학기술 발전 및 국민의 삶의 질 향상에 이바지함.
- 반도체 공정 장비는 국산화율이 낮고 진입장벽이 높기 때 문에 신기술의 연구개발을 통해 국내산업의 경쟁력
확보가 필요함. 공정 장비 중 광학 검사장비는 비교적 국내 산업이 경쟁력을 가질 수 있는 분야이기 때문에, 기존의
형상측정 기술에 대해 경쟁력을 갖춘 신기술이 개발되면 이는 국내 장비산업에 적용 가능성이 크다고 판단되어
개발함.
수상품에 대해 소개해 주신다면?
- 본 수상품은 작은 구조물의 3차원 형상을 고속으로 정밀하게 측정하는 다파장을 이용한 위상천이 간섭계 기술임.
파장이 서로 다른 레 이저를 동시에 발진시켜서, 이를 빔 스플리터 및 렌즈를 이용하여 측정물체의 간섭무늬를
분석함으로써, 측정 물체의 정밀 형상을 신속 하고 정확하게 측정할 수 있는 기술임.
- 기존의 간섭계가 정지 상태에서만 측정 할 수 있는 것에 비해 본 기술은 “측정에 필요한 시간이 카메라의 노출시간과
같다”는 장점을 유 지하면서 측정 영역을 넓히는 방법을 제시함.
- 고속 측정의 장점을 유지하기 위해서 두 개의 파장을 각각 측정하는 카메라를 사용하여 동시에 2개의 위상 정보
측정한 후 맥놀이 파장 분석 원리를 적용시켰음.
수상품의 특장점을 꼽는다면?
- 기존의 3차원 형상을 측정하는 간섭기술은 측정물을 정지상태로 놓고 측정해야하기 때문에 고속측정에 한계가
있음.본 발명의 장치는 형상 측정에 필요한 시간을 CCD 카메라의 노출시간 만큼만 필요로 하기 때 문에 고속측정이
가능함. 카메라의 노출시간은 수 ms나 수 μs로 짧게 만들 수 있으므로 형상을 측정하는데 필요한 시간 동안은
측정물체가 천천히 움직이더라도 정지한 것과 같은 효과를 볼 수 있음.
- 기존의 간섭계 보다 외부의 진동에 둔감하고, 측정하면서 샘플을 이동 하는 방법이 더 자유로워, 이 특성은 본발명을
생산라인에 적용시키는 경우에 기존의 방법에 비해 뛰어난 생산성 향상 효과가 있음.
추후 계획과 포부는?
- 등록된 특허를 기술이전하여 기업과의 협력을 통해 상용화
- 수요기관과의 협력을 통해 스펙 조정 및 측정 능력 배양
- 새로운 시장 형성 및 관련 측정 장비의 수입대체 효과를 만들어 국내 반도체 검사장비 시장의 활성화에 기여
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